د پلازما ایچنګ ماشین جوړښت

د ICP تجهیزات په عمده توګه له څلورو برخو څخه جوړ دي: د مخکینۍ{0}} ویکیوم چیمبر، د اینچنګ چیمبر، د ګاز رسولو سیسټم او ویکیوم سیسټم.

(1) مخکی - خلا خونې

د مخکینۍ ویکیوم چیمبر دنده دا ده چې ډاډ ترلاسه کړي چې د ایچنګ چیمبر په ټاکل شوي خلا کې ساتل کیږي، د بهرني چاپیریال (لکه دوړې، د اوبو بخار) لخوا اغیزمن شوي ندي، او د پاکې خونې څخه خطرناک ګازونه جلا کوي. دا یو پوښ، یو سمبالونکی، د لیږد میکانیزم، د جلا کولو دروازه، او داسې نور لري.

(2) د نقاشۍ چیمبر

د اینچنګ چیمبر د ICP د اینچنګ تجهیزاتو اصلي جوړښت دی. دا د نقاشۍ په نرخ، د نقاشۍ عمودیتوب، او ناڅاپه اغیزه لري. د اینچنګ چیمبر اصلي برخې عبارت دي له: پورتنۍ الیکټروډ، د ICP راډیو فریکوینسي واحد، د RF راډیو فریکوینسي واحد، د ټیټ الکترود سیسټم، د تودوخې کنټرول سیسټم، او داسې نور.

(3) د ګازو رسولو سیسټم

د ګاز رسولو سیسټم دا دی چې د اینچنګ چیمبر ته مختلف اینچنګ ګازونه تحویل کړي ، او د فشار کنټرولر (PC) او ډله ایز جریان کنټرولر (MFC) له لارې د ګاز جریان نرخ او جریان په دقیق ډول کنټرول کړي. د ګاز رسولو سیسټم د ګاز سرچینې بوتل، د ګاز رسولو پایپ لاین، د کنټرول سیسټم، د مخلوط کولو واحد، او داسې نور لري.

(4) د ویکیوم سیسټم
دوه ویکیوم سیسټمونه شتون لري، یو د مخکینۍ- ویکیوم چیمبر لپاره او بل یې د اینچنګ چیمبر لپاره. د مخکینۍ- خلا چیمبر د میخانیکي پمپ په واسطه خالي کیږي. یوازې هغه وخت چې د مخکینۍ- ویکیوم چیمبر کې د خلا کچه ټاکل شوي ارزښت ته ورسیږي د ویفر لیږدولو لپاره د جلا کولو دروازه پرانیستل کیدی شي. د ایچنګ چیمبر کې خلا د میخانیکي پمپ او مالیکولر پمپ لخوا چمتو کیږي. هغه ګازونه چې د اینچنګ په چیمبر کې د عکس العمل له امله رامینځته کیږي د ویکیوم سیسټم لخوا هم ایستل کیږي.