د پلازما کلینر ځانګړي غوښتنلیکونه

د پلازما پاکولو/ایچنګ ماشینونه په یوه مهر شوي کانټینر کې د دوه الکترودونو په ځای کولو سره پلازما تولیدوي ترڅو بریښنایی ساحه رامینځته کړي. د ویکیوم پمپ د یوې ټاکلې خلا کچې ساتلو لپاره کارول کیږي. لکه څنګه چې ګاز په چټکۍ سره کمیږي، د مالیکولونو او د مالیکولونو یا ایونونو آزاد حرکت ترمنځ فاصله هم زیاتیږي. د بریښنایی ساحې تر اغیز لاندې، دا ایونونه ټکر کوي او پلازما جوړوي. دا آیونونه خورا ډیر عکس العمل لري ، د کافي انرژي سره چې نږدې ټول کیمیاوي بانډونه ماتوي ، په هر افشا شوي سطح کې کیمیاوي تعاملات هڅوي. مختلف ګاز پلازما مختلف کیمیاوي ملکیتونه لري. د مثال په توګه، د اکسیجن پلازما په لوړه کچه اکسیډیز کوي، د ګاز تولید لپاره د فوتوریزیسټ اکسیډیز کولو توان لري، پدې توګه د پاکولو اغیز ترلاسه کوي. د ککړ ګاز پلازما عالي انیسوټروپی لري ، کوم چې د نقاشۍ اړتیاوې پوره کوي. د پلازما درملنه یو چمک تولیدوي، له همدې امله د ګلو خارج کیدو نوم دی.
د پلازما پاکولو میکانیزم اساسا په پلازما کې د فعالو ذراتو "فعالیت" باندې تکیه کوي ترڅو د سطحې داغونه لرې کړي. د عکس العمل میکانیزم په شرایطو کې، د پلازما پاکول په عمومي ډول لاندې پروسې کې شامل دي: غیر عضوي ګازونه د پلازما حالت ته هڅول کیږي؛ ګازي مواد په جامد سطح کې جذب شوي؛ جذب شوي ګروپونه په جامد سطح کې د مالیکولونو سره غبرګون کوي ​​ترڅو د محصول مالیکولونه جوړ کړي. د محصول مالیکولونه د ګاز په مرحله کې تحلیل کیږي؛ او د عکس العمل پاتې شوني له سطحې څخه لرې کیږي.

د پلازما پاکولو ټیکنالوژۍ ترټولو مهم ځانګړتیا دا ده چې دا کولی شي د هر ډول سبسټریټ ډول درملنه وکړي ، پشمول فلزات ، سیمی کنډکټرونه ، آکسایډونه ، او ډیری پولیمر توکي لکه پولی پروپیلین ، پالیسټر ، پولیمایډ ، پولی وینیل کلورایډ ، ایپوکسي ، او حتی پولیټرافلوروایتیلین. دا کولی شي ټوله سطحه او ځانګړي ساحې پاکې کړي، او همدارنګه پیچلي جوړښتونه.